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廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫進(jìn)口分子泵

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安捷倫渦旋式干泵采用兩個(gè)渦旋盤復(fù)合成的機(jī)械結(jié)構(gòu)，由一個(gè)渦旋嵌入另一個(gè)渦旋并轉(zhuǎn)動(dòng)來捕集氣體。進(jìn)入渦旋槽內(nèi)的氣體被移動(dòng)壓縮到渦旋的中信并被排出。

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美國Agilent TwisTorr 304 FS高真空渦輪分子泵

高真空渦輪分子泵內(nèi)有一個(gè)高速旋轉(zhuǎn)（每分鐘幾萬轉(zhuǎn)）的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子上有渦輪和拖動(dòng)級(jí)進(jìn)行抽氣。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，市場不僅對(duì)泵性能的要求越來越高，更對(duì)其小型化、高可靠性、維護(hù)方便性及靈活易用性等都提出了更高的要求通常的分子泵拖動(dòng)級(jí)采用圓柱螺旋形的溝槽，而安捷倫 TwisTorr 技術(shù)把拖動(dòng)級(jí)放在了薄薄的圓盤上，這樣就可以在有限的空間內(nèi)集成多對(duì)拖動(dòng)級(jí)轉(zhuǎn)子盤和定子盤，節(jié)省空間的同時(shí)又能提率和性能。

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復(fù)合式分子泵的形式很多，按結(jié)構(gòu)分，主要有兩種：一種是渦輪葉片與盤式牽引泵的串聯(lián)組合；另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級(jí)主要用來提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的葉片形狀，級(jí)數(shù)在l0級(jí)以內(nèi)。牽引級(jí)主要用來增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。